日前，位于沧州临港经济技术开发区的沧州华宇特种气体科技有限公司年产5000吨电子特气项目进入试生产。公司厂区内，几个80多米高的精馏塔装置稳定运行。据了解，项目建设的硅烷气生产装置为全国单套产能最大的硅烷气生产装置，其主要生产电子级硅烷气。

　　电子特种气体是国家大力支持发展的新材料，被称为“芯片血液”，应用在集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积等环节，对集成电路的性能、集成度和成品率有较大影响。电子级硅烷气是一种高纯度的电子特种气体，不仅用于电子半导体、光伏、显示面板等领域，更是高性能锂电池硅碳负极材料、颗粒硅的主要原材料，可有效解决新能源电动汽车的续航里程及光伏产业的成本和环保问题。

　　沧州华宇特种气体科技有限公司是一家致力于推动电子特种气体国产化，专业从事电子半导体、光伏、显示面板、高性能锂电池负极材料等高端领域气体材料的研发、生产、经营企业。2023年1月，公司开工建设年产5000吨电子特种气体项目。该项目总投资5.93亿元，建设的硅烷气生产装置国产化率达80%。项目投产后，每年可生产5000吨电子级硅烷气，可实现产值20亿元、税收3.2亿元。

　　在该项目中，沧州“华宇”与中国科学院合作，形成了具有自主知识产权的改良氯硅烷歧化法技术及反应精馏技术。该技术适合大规模生产，生产效率高、能耗低、成本低。应用该技术，生产过程安全又环保，产出的电子硅烷气纯度高。同时，企业引入先进生产设备，选择环保材料和零部件，采用清洁生产技术，减少能源消耗和废弃物产生。 （记者 康学翠 通讯员 祖天林 李林啸）